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浮栅回刻的深度的测试方法

1061   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:34
本发明提供了一种浮栅回刻的深度的测试方法，包括：提供衬底；在所述衬底上分别形成第一隔离层和第二隔离层；在所述第一隔离层上形成浮栅多晶硅，刻蚀浮栅多晶硅形成浮栅，所述浮栅呈条状结构；在所述浮栅和所述第二隔离层上形成ONO层；在所述ONO层上沉积控制栅多晶硅，刻蚀控制栅多晶硅形成控制栅，所述控制栅呈条状结构，所述浮栅和所述控制栅形成叉指结构；使用如下公式计算浮栅回刻的深度；在本发明浮栅回刻的深度的测试方法中，利用叉指结构的数目、叉指结构的长度和ONO厚度就可以在不切片的情况下获得浮栅的回刻深度，减少存储单元失效的几率，提高芯片的良率，并且与现有工艺兼容，无需开发新制程，不需要额外的掩膜版。
声明：
“浮栅回刻的深度的测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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