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实时监测多晶硅沉积工艺过程氧气浓度的装置

1018   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:34
本发明公开了一种实时监测多晶硅沉积工艺过程氧气浓度的装置，适用于炉管工艺多晶硅沉积机台，所述炉管工艺多晶硅沉积机台包括反应炉管、与所述反应炉管相连接的气体外出管路以及泵，其中，所述气体外出管路上设有支联装置，所述支联装置内设有氧气敏感器。本发明能够在第一时间有效地监测炉管机台反应炉管内部氧气浓度的变化情况，避免因反应炉管微漏气造成的晶圆器件失效而导致的报废。通过使用本发明能够节省机台维护保养复机时间约2h，提升机台产能，直接反应机台状况。
声明：
“实时监测多晶硅沉积工艺过程氧气浓度的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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