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半导体设备机台气缸的升降侦测系统

665   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:33
本实用新型公开了一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，半导体设备机台内设有气缸，气缸包括缸体和活塞杆，系统包括：感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，感应片固定在活塞杆的顶部侧壁上，感应器安装在安装支架上，安装支架经位置调节机构与缸体的顶部端面相连接；报警单元，安装在半导体设备机台上；控制器，分别与气缸和感应器相连接，控制器还经常闭继电器与报警单元相连接。本实用新型能准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，避免了感应器存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器会断开，使报警单元立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。
声明：
“半导体设备机台气缸的升降侦测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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