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MSM型金刚石快中子探测器

911   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:24
本实用新型公开一种MSM型金刚石快中子探测器的设计，该探测器包括底层和顶层Ti/Al欧姆接触电极层，金刚石单晶层，Si3N4绝缘层,SiO2钝化层，PCB板，铝线，导电银浆和SMA接头。通过SMA接头引出探测器与后级电子学的连接，收集快中子与金刚石产生的电荷。在顶层电极的表面沉积了一层SiO2钝化层，防止器件机械性损伤，有助于表面沾污时清洗，保护水汽环境中器件失效。Ti/Al金属的厚度为50/800nm。由于金刚石是目前已知的半导体材料中最耐辐照耐高温的材料，且金刚石中的12C与快中子能直接发生核反应，本专利设计可应用于快中子的探测，如中子能谱测量、计数、束流监测和位置分辨等。
声明：
“MSM型金刚石快中子探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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