本发明涉及一种具有加热测温功能的湿度传感器及其制作方法,具有加热测温功能的湿度传感器包括控制
芯片、基底、湿度敏感电容、加热电路和测温电路,当湿度传感器的温度较低时即测温电路所采集的温度低时,通过控制芯片导通加热电路,使加热电路的加热电阻对湿度敏感电容进行加热,从而不会使湿度敏感电容的温度过低,以保证湿度探测的精度,也就是说,在外界环境如高空环境中的温度较低时,本申请的一种具有加热测温功能的湿度传感器能持续进行湿度探测,不易出现失效的情况,且湿度探测误差小,湿度探测精度高。
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