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存储器芯片上测试单个比特的方法

626   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:22
本发明提供了一种存储器芯片上测试单个比特的方法，包括步骤：提供存储器芯片，将所述存储器芯片减薄到目标比特的字线层；在所述字线层的栅极上形成导电层；提供测试信号给所述导电层，通过探针测试单个比特的电气特性。在本发明提供的存储器芯片上测试单个比特的方法中，首先将存储器芯片减薄到字线层，暴露出字线层的栅极，在栅极上形成导电层，然后通过给所述导电层提供测试信号，可实现将所有连接导电层的栅极打开，再通过探针测试单个比特的电气特性，完成存储器芯片上单个比特的失效测试。
声明：
“存储器芯片上测试单个比特的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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