本发明公开了一种可实现自动重复浪涌的浪涌测试方法,包括以下内容:将需要被测试的功率半导体器件放置在测试台上,使被测器件和浪涌测试平台的浪涌电流输出端安全可靠连接,然后设置浪涌周期数目、两次浪涌测试的间隔时间以及浪涌电流的幅值和周期。在浪涌测试期间,测量被测器件的源漏电压和浪涌电流,在浪涌测试前和浪涌测试后测量各个电极间的电阻、转移特性曲线等电学参数。遭受浪涌电流冲击的被测器件的电学特性通常会发生变化,根据所测量的电学参数的变化来判断器件是否失效以及器件性能的退化程度。本发明解决了传统的以LC振荡原理为基础的浪涌测试平台仅能进行单次浪涌测试的问题,通过选择合适的开关器件以及设计合理的浪涌电流发生电路得到了能够实现自动重复浪涌的测试平台。
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