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3D存储器件的测试样品制备方法

753   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:20
本申请公开了一种3D存储器件的测试样品制备方法，包括：在所述3D存储器件中确定取样区域；按照所述取样区域从所述3D存储器件切割出狭长的薄片；将所述薄片转移并固定至基板上；以及将所述薄片减薄至预定厚度以获得测试样品，所述薄片转移的过程中，其顶端与聚焦离子束系统的执行器粘接，与所述顶面相对的底部接口与基板接触。该测试样品制备方法可以获得用于电子显微镜观察的狭长形状的测试样品，通过确定狭长结构的失效位置以及估计失效原因来提高3D存储器件的良率。
声明：
“3D存储器件的测试样品制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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