本发明公开了一种功率器件的高温反偏和高温栅偏测试系统,适用于对功率器件的高温反偏或高温栅偏进行可靠性测试,它由微机控制系统、电压偏置系统、器件加热系统和数据采集系统四个部分组成,根据所接入的被测器件端子的不同可以对被测器件进行高温反偏测试或高温栅偏测试,并在测试中对被测功率器件的泄漏电流的数据进行实时采集,可根据预先设定的失效标准,准确记录高温反偏和高温栅偏的失效时间。
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