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晶圆测试参数设置方法

889   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:20
本发明涉及一种晶圆测试参数设置方法,不需要人工设置探针台配置文件。同一产品,得到客户提供的批号、片号、相应目标坐标信息和管芯参数要求后,探针台取得当前机台内的晶圆相应批号、片号和坐标信息,测试机按照输入信息参照目标坐标进行相应管芯的自动测试扫描,并对失效管芯进行周围位置管芯补测,自动测试的同时对失效进行验证和数据补充。保证测试数据的正确性,测试灵活并且适应各种客户要求,避免人工设定造成的误操作,有效地提高测试效率和质量。
声明:
“晶圆测试参数设置方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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