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电迁移测试方法、装置、设备及存储介质

1019   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:19
本发明实施例公开了一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质。其中，该方法包括：根据芯片中的待测试链路的仿真模型，确定待测试链路的标准电阻；根据电迁移仿真测试过程中的多组仿真测试数据确定待测试链路的失效时间计算公式；确定与待测试链路对应的多组电迁移测试条件；控制电迁移测试系统对与待测试链路对应的电迁移测试样品进行电迁移测试，得到与各组电迁移测试条件对应的测试样品失效时间；根据各组电迁移测试条件中的预期失效时间与所对应的测试样品失效时间的比对结果，确定待测试链路的电迁移测试结果。本发明实施例可以对芯片中的链路进行电迁移测试，确定芯片中各链路的整个链路结构的电迁移实际情况。
声明：
“电迁移测试方法、装置、设备及存储介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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