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晶圆探测数据的处理方法和计算机可读存储介质

870   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:18
本公开提供了一种晶圆探测数据的处理方法和计算机可读存储介质，涉及晶片制造技术领域。其中，晶圆探测数据的处理方法包括：确定已完成的晶圆探测过程中产生的新失效位元；获取新失效位元的修补记录，以及新失效位元的相邻位元的修补记录；解析修补记录，以确定新失效位元和相邻位元的属性信息，属性信息包括位置信息、备用电路信息、新失效位元的单元图形和晶圆探测流程中的至少一种；根据属性信息进行分类学习，以获取失效位元预测模型；通过失效位元预测模型对待进行晶圆探测的失效位元进行预测。通过本公开的技术方案，提高了预测失效位元的可靠性，有利于提升晶圆产品的成品率。
声明：
“晶圆探测数据的处理方法和计算机可读存储介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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