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利用四探针法原位实时监测引脚封装的引脚可靠性的方法

1002   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:18
本发明公开了一种利用四探针法原位实时监测引脚封装的引脚可靠性的方法。本发明利用四探针法对封装结构中的引脚的电阻进行监控测量，基于电阻变化检测出裂纹产生前的粘塑性变形、引脚中裂纹的扩展，实现准确的原位裂纹识别。本发明基于引脚中裂纹产生引起的微电阻变化的特性，通过精确测量引脚电阻变化快速准确地判断引脚出裂纹产生和失效问题，对引脚可靠性进行原位监测，相比于现有其他测量方法更加简单高效，能够在器件的可靠性测试中进行裂纹判定，提前终止实验，从而节省时间和成本；本发明采用多种探针引脚接触方案，实现探针与被测点的良好接触，能进一步提升测试的精确性。
声明：
“利用四探针法原位实时监测引脚封装的引脚可靠性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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