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柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置

921   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:18
本发明涉及材料测试技术，尤其涉及种柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置，包括有夹持机构、梯度载荷加载机构以及精密检测单元。本发明通过曲柄滑块机构，将滑块直线移动转化为薄膜试件加载梯度载荷，分布梯度的应力应变，原子力显微镜直接观测不同应力应变下薄膜的微观结构变化，从而得到样品的宏观力学性能。本发明可复现薄膜材料受梯度载荷的工况，可原位观测梯度受力下，薄膜不同形变与基底结合力，膜基结合能，在同一测试环境下，比对不同形变，找出膜基结合临界状态，及失效时薄膜形貌变化，测量整个过程中的形变学、变形机制和力学性能，是研究新型薄膜材料在此工况下的弹性模量、内应力和结合能有力试验工具。
声明：
“柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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