本发明公开了一种具有传动辊在线监测功能的真空设备,包括:真空腔体;安装于真空腔体内的传动辊单元,传动辊单元具有传动辊和延伸于真空腔体外的输入端;传动连接传动辊单元输入端的驱动装置;监测装置,监测装置具有安装于真空腔体两侧的监测单元,两个监测单元之间于真空腔体内形成一检测路径;对应监测单元安装于传动辊上的被监测零件,被监测零件在转动过程中可遮挡和避开监测单元的检测路径。本发明能够实现在线直接监测传动链终端零件——传动辊的工作状态,同时不降低传动辊的力学性能,及时给出具体传动辊单元失效的报警信号,确保设备及时采取应对措施,避免故障造成更大损失。
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