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多通道显微镜半导体综合测试系统

844   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:17
本发明提出一种多通道显微镜半导体综合测试系统,是将红外发光显微技术(EMMI)、激光束诱导电阻率变化测试技术(OBIRCH)、微探针检测技术、扫描电子显微镜技术(SEM)结合在一起形成一种多通道显微镜半导体综合测试系统。利用OBIRCH方法,可以有效地对电路中缺陷定位,如线条中的空洞、通孔下的空洞、通孔底部高阻区等;也能有效的检测短路或漏电,是发光显微技术的有力补充;微探针检测技术是以微探针快捷方便地获取IC内部电参数值,如工作点电压、电流、伏安特性曲线等。本系统可进行多种失效测试技术,减少测试设备,测试步骤少,操作简单、方便。
声明:
“多通道显微镜半导体综合测试系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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