本实用新型涉及一种探针装置及自动调整探针压力的晶粒点测机,包括探针装置、Z轴自动升降装置和控制器,所述探针装置包括手动位置调节组件、压力传感器和探针,所述压力传感器用于检测探针压力;在整个LED
芯片的检测过程中,由于探针压力通过Z轴自动升降装置调整并始终保持在预设范围内,从而保证了探针和LED芯片的良好接触,使晶粒点测机能够正常检测LED芯片的发光性能;不会因为探针压力过大,导致固定探针的部件发生形变而使弹性失效,由于无须考虑固定探针的组件因弹性失效而导致的维修问题,因此提高了晶粒点测机的稳定性,降低了维修成本。
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