本申请提供一种平板探测器及其制作方法、平板探测装置、成像系统,平板探测器包括基底、设置在基底一侧的薄膜晶体管、设置在薄膜晶体管远离基底的一侧的感光器件、以及设置在感光器件远离基底一侧的闪烁体层和遮挡层,其中,闪烁体层在基底上的正投影与感光器件在基底上的正投影至少部分交叠,遮挡层在基底上的正投影与有源层在基底上的正投影至少部分交叠,用于防止射线照射有源层。通过在平板探测器中设置可以遮挡射线的遮挡层,可以防止射线照射到薄膜晶体管的有源层,避免了薄膜晶体管发生失效,保证了平板探测器的正常工作。
声明:
“平板探测器及其制作方法、平板探测装置、成像系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)