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测试结构

842   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:14
本申请实施例提供了一种测试结构，可以包括第一金属线、第二金属线，以及第一金属线和第二金属线之间的介质层，第一金属线用于连接第一电压，第二金属线用于连接第二电压，其中，第一金属线通过连接入一个电编程熔丝来连接第一电压，和/或，第二金属线通过连接入一个电编程熔丝来连接第二电压。第一电编程熔丝和第二电编程熔丝在正常工作时电阻较小，但是在介质层击穿之后整个电路回路中产生较大的电流，此时第一金属接入的电编程熔丝和/或第二金属接入的电编程熔丝的电阻骤然变大，此时的电编程熔丝由于大电阻起到分压/降电流作用，抑制了电介质击穿处的电流而减弱击穿损伤，利于后期对击穿位置的物理失效分析。
声明：
“测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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