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用于除错的金属连线测试结构

988   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:14
本实用新型提出了一种用于除错的金属连线测试结构，包括：多层层间金属层、介质层、金属插塞和顶层金属层，介质层隔离开多层层间金属层和顶层金属层，相邻的层间金属层之间、层间金属层和顶层金属层之间均通过金属插塞相连；顶层金属层包括相连的直线段和弯曲段，直线段位于层间金属层正上方的介质层上，弯曲段绕开层间金属层正上方的介质层，暴露出层间金属层正上方的介质层；暴露出层间金属层正上方的介质层，便于FIB避开厚度较厚的顶层金属连线，可以直接在介质层和层间金属连线处进行电路编辑，降低了FIB电路编辑的难度，从而有益于失效分析。
声明：
“用于除错的金属连线测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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