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电迁移测试结构、系统、存储器、制造方法及测试方法

740   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:14
本申请提供电迁移测试结构、系统、存储器、制造方法及测试方法，测试结构包括：待测件、第一测试部、第二测试部和第三测试部；其中，待测件包括第一端和第二端，第一端与第一测试部电连接，第二端与第二测试部电连接；第三测试部与待测件电连接，且第三测试部与第一端之间的距离不等于第三测试部与第二端之间的距离；其中，第一端与第三测试部之间的待测件的电阻值能够通过第一测试部和第三测试部获得，第二端与第三测试部之间的待测件的电阻值能够通过第二测试部和第三测试部获得。通过电迁移测试结构的第一测试部和第三测试部，以及第二测试部和第三测试部获得的电阻值，计算得到待测件的实际横截面积，并计算得到待测件的实际失效时间。
声明：
“电迁移测试结构、系统、存储器、制造方法及测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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