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ESD通路探测方法及系统

1095   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:13
一种ESD通路探测方法及系统，所述方法包括：当待测试芯片泄放ESD电流时，对所述待测试芯片因泄放ESD电流产生的光子进行探测；基于探测得到的光子的位置信息，获得ESD通路影像；基于所述ESD通路影像，确定所述待测试芯片中对应的ESD通路是否正常。上述的方案，可以对待测试芯片中ESD通路进行定位，满足对待测试芯片ESD通路失效原因的分析需求。
声明：
“ESD通路探测方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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