本发明属于半导体存储器测试技术领域,公开了一种半导体存储器老化测试系统及方法,其系统包括测试核心板和测试板;测试核心板根据上位机指令生成测试信号和电源信号进行调整后提供给DUT,并将DUT输出信号与预设值比较得到初步测试结果分区存储,并上传到上位机;测试板用于承载DUT,为DUT提供时钟信号和片选信号,单块测试板设置有多个测试位,DUT老化测试可单颗进行或多颗DUT同时进行;其方法通过在测试核心板上输出各种类型的测试信号,并对测试信号进行延时调整、加强驱动、波形控制等处理,以及对电源信号进行补偿,对测试结果通过分区设置的存储区分别存储,实现老化测试中对单个DUT测试过程控制的管理和失效分析的功能,并增加了DUT同测数,减少了测试资源开销。
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