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存储器晶圆测试方法及存储器测试机

981   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:12
本发明提供一种存储器晶圆测试方法及存储器测试机，所述测试方法在进行功能测试等晶圆针测之前，先对晶圆上的同测存储器芯片进行分组短路测试，判定晶圆是否失效，并仅在晶圆通过短路测试后才运行存储器测试机，进行晶圆针测，由此避免了测试机直接对失效晶圆进行针测时其探针卡等被失效晶圆的大漏电流损毁的情况，同时可以尽可能早的发现并剔除坏的芯片，减少晶圆测试的平均测试时间，降低测试成本。本发明提供的存储器测试机增设了分组管理单元，该单元能够对探针卡进行探针分组，将分组中的被测存储器芯片的管脚接地来用于短路测试，由此能够保护测试机，而避免测试机直接对失效晶圆进行针测时其探针卡等被失效晶圆的大漏电流损毁的情况。
声明：
“存储器晶圆测试方法及存储器测试机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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