本申请提供了一种电迁移测试结构、半导体结构及三维存储器。其中,电迁移测试结构包括测试线和衬底。测试线连接有阳极引线和阴极引线;衬底与阴极引线连接,衬底配置为通过阴极引线接收测试线中的静电荷。本申请通过将阴极引线接入衬底,从而使衬底能够通过阴极引线接收测试线中的静电荷,因此,在测试过程中以及在后续失效分析过程中即使引入了静电,这部分静电也可通过阴极引线导出至衬底中,以此减小测试和失效分析过程中测试线发生爆燃的可能性。
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