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加入光学检查功能的聚焦离子束机台

859   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:10
本实用新型涉及一种加入光学检查功能的聚焦离子束机台,其包含有腔体,安装于所述腔体内顶部的离子源,安装于所述腔体内侧壁的电子侦测器,光学摄像头以及样品座;所述离子源发射离子束至放置于样品座上的样品表面,所述电子侦测器接收样品表面受到离子束轰击而激发出的电子成像,所述光学摄像头安装于腔体的内侧壁电子侦测器旁,拍摄所述样品的光学成像;本实用新型可以减少定位加速工程时间,同时可配合光学与电子显微检查来达到查找失效点的目的。
声明：
“加入光学检查功能的聚焦离子束机台” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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