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磁控溅射环的尺寸检验工装

974   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:10
本实用新型公开属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种磁控溅射环的尺寸检验工装，该检验工装包括：检验圆环体、绝缘陶瓷垫块、绝缘陶瓷筒、绝缘陶瓷垫片、边缘固定销钉和中心固定销钉。该检验工装内径与相应溅射环装机设备的遮挡罩几何尺寸相同。通过溅射环与检验工装的装配、溅射环的开口宽度、溅射环与检验工装的绝缘电阻值来进行溅射环的尺寸检验。磁控溅射环材质为Ti、Ta、Cu等。由于溅射环为开口的弹性环，常规的三坐标、游标卡尺、或影像测量仪等测量方法难以测量准确，而本实用新型涉及的溅射环的尺寸检验工装，尺寸检验结果可靠，从而避免了溅射环产品在客户端安装失效等问题。
声明：
“磁控溅射环的尺寸检验工装” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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