本发明公开了一种功率器件开关瞬间抗烧毁能力的检测方法,属于半导体器件测试可靠性的技术领域。主要应用于功率器件开启关断瞬间器件抗烧毁能力的评估,从而指导并提高器件可靠性的方法和装置。首先,通过施加低于盲点的栅压或通态压降,控制功率器件处于导通电阻负温度系数区域,模拟带容性负载开启及感性负载关断等工况;然后,通过对器件施加一组可控的递增脉冲信号,来模拟器件开启关断瞬间的功耗及热点形成情况,从而定量评价功率器件的抗瞬态烧毁能力,进而探索器件耐受瞬态失效的最恶劣条件。本发明也可以用于评价功率器件其它工况下抗瞬态烧毁能力。
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