本实用新型涉及一种检测装置,属于微型电子器件技术领域。该装置包括:待测试金属结构部件;设置于所述待测试金属结构部件上的声阻挡层;设置于所述声阻挡层上的声表面波传感器,在对所述待测试金属结构部件进行测试时,所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。该检测装置将声表面波传感器与待测试的金属结构件集成在一起,解决了采用粘结剂可能会发生开裂、崩落等现象,导致声表面波传感器的失效、损坏甚至脱落的技术问题,同时,通过声阻挡层使声表面波传感器产生的声表面波作用于待测试金属结构部件的表面,而不在金属结构件内部传播,使得传感器具有更高的品质因数、谐振性能和测试灵敏度。
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