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检测装置的制作方法

867   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:07
本发明涉及一种检测装置的制作方法，属于微型电子器件技术领域。该制作方法包括：一待测试金属结构部件，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层；在所述声阻挡层上设置声表面波传感器，其中，在对所述待测试金属结构部件进行测试时，所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。该制作方法将声表面波传感器与待测试的金属结构件集成在一起，解决了采用粘结剂可能会发生开裂、崩落等现象，导致声表面波传感器的失效、损坏甚至脱落的技术问题，同时，通过声阻挡层使声表面波传感器产生的声表面波作用于待测试金属结构部件的表面，使得传感器具有更高的品质因数、谐振性能和测试灵敏度。
声明：
“检测装置的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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