合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 光刻机对准性能的检测方法

光刻机对准性能的检测方法

716   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:06
本发明公开了一种光刻机对准性能的检测方法，包括提供待曝光晶圆；制作掩膜板，其具有长方形和迭对标记图案；通过光刻，将掩膜板的长方形及迭对标记图案转移到晶圆上；通过平移非完整曝光单元曝光布局的方法，测量完整曝光单元和非完整曝光单元之间迭对标记的中心偏移量，确定光刻机对非完整曝光单元对准补偿能力的失效边界，以此边界为基准，建立最敏感的检测曝光布局，从而建立更为全面和灵敏的光刻机对准性能的检测方法。
声明：
“光刻机对准性能的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：高压断路器线圈智能检测装置
下一个：抗寒气象检测仪

与 “光刻机对准性能的检测方法” 相关技术

▪ 提升矿山生态修复区固碳增汇能力的系统
▪ 矿山开采碎石设备
▪ 矿山机械设备安装的吊装机构
▪ 危废铝灰处理工艺
▪ 辊底式淬火炉淬火水痕控制方法
▪ 铝合金板带材及其制备方法
▪ 铝液在线除杂除气装置
▪ 2025首期Nature：硅基半导体新技术！
▪ 南京大学张晔课题组Adv.Mater.：新型凝胶材料：金属凝胶
▪ 污水处理磁絮凝沉淀技术

相关失效分析设备推荐

多气体检测仪
土壤水分监测站
手动土壤采样器
中文版区域监测多气体检测仪
重庆土壤肥料养分测试仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪提升矿山生态修复区固碳增汇能力的系统
▪矿山开采碎石设备
▪矿山机械设备安装的吊装机构
▪危废铝灰处理工艺
▪辊底式淬火炉淬火水痕控制方法
▪铝合金板带材及其制备方法
▪铝液在线除杂除气装置
▪2025首期Nature：硅基半导体新技术！
▪南京大学张晔课题组Adv.Mater.：新型凝胶材料：金属凝胶
▪污水处理磁絮凝沉淀技术

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记