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用于SMIF装载通道的晶圆检测集成装置及SMIF装置

813   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:06
本发明提供一种用于SMIF装载通道的晶圆检测集成装置及SMIF装置，该晶圆检测集成装置包括框架结构以及固定集成在框架结构上的用于检测晶圆的光源、分光器、传感器等部件。上述部件在框架结构上以预定的角度安装，该预定角度使得每一个传感器均能够接收光源发出光柱。本发明将上述各部件集成到一个框架结构上，然后以集成的形式安装至SMIF装载通道的通口处，这样的集成方式便于上述各部件在SMIF通道装置上的安装。并且上述各部件的设置使得各传感器能够准确接收光源发出的光柱，不会因为SMIF的运行过程中的振动而发生位移偏离，能够始终保证传感器的灵敏度。如果传感器失效，只需更换新的晶圆检测集成装置，SMIF系统无需长时间停机，提高生产效率。
声明：
“用于SMIF装载通道的晶圆检测集成装置及SMIF装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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