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防止静电吸合的微机械检测结构

1167   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:03
本发明提供了一种防止静电吸合的微机械检测结构,属于微机电系统技术领域,包括固定锚点及连接于固定锚点的固定梳齿、活动质量块以及连接于活动质量块的活动梳齿;活动梳齿与固定梳齿相互交叉,当敏感信号输入时,活动质量块偏移平衡位置,活动梳齿与固定梳齿之间形成电容差。其中,固定梳齿或/和活动梳齿上设有梳齿防静电吸合结构,以限制活动梳齿的偏移量,避免梳齿间静电吸合失效。本发明提供的防止静电吸合的微机械检测结构,能够有效的防止由于过载信号导致的静电力吸合失效,具有结构形式简单,加工方便等优点,可以显著提高MEMS惯性传感器的可靠性。
声明:
“防止静电吸合的微机械检测结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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