合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 快速检测芯片堆栈结构间段差高度的方法

快速检测芯片堆栈结构间段差高度的方法

868   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:02
本发明公开了一种快速检测芯片堆栈结构间段差高度的方法,制作一块通用测试掩膜板;根据测试图形的形状及关键尺寸的大小建立一个能表征CD和台阶高度之间关系的标定系统;将测试图形以分批或组合的方式,规则且均匀的放置于通用测试掩膜板内;在硅片上涂布光刻胶;曝光、显影形成所需的测试图形;对所形成的测试图形关键尺寸进行测量或观测外观的变化;根据测量或观测的结果对照标定系统得出功率器件工艺中存在的台阶高度。本发明不仅能直接探测实际硅片状况,避免功率器件工艺开发过程中由台阶高度造成器件物理性失效,而且相对于传统方法降低了开发成本,以及对研发人员经验,理论基础的依赖程度。
声明：
“快速检测芯片堆栈结构间段差高度的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：负载开关导通性检测电路
下一个：标签自动检测装置

与 “快速检测芯片堆栈结构间段差高度的方法” 相关技术

▪ 采矿用地质勘探取样设备
▪ 汽车成型高寿命点焊电极用氧化铝铜系列合金棒材中试技术
▪ 磨粉机用的喂料装置
▪ 可在氩气手套箱中使用的高能离心球磨机
▪ 镁合金智能装备工程
▪ 畜牧养殖用智慧风机温湿度调节装置
▪ 旋转制动机构、C形臂X射线机及其监控器支架
▪ VOCs处理用高效蓄热式催化氧化反应器
▪ 球磨机加钢球用管道的安装结构
▪ 淀粉振动筛上的收集装置

相关失效分析设备推荐

便携式氨气检测报警仪
奥林巴斯体式显微镜SZX7
经济实惠的土壤测试仪哪个好
智能土壤养分速测仪
多功能土壤养分测试仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪采矿用地质勘探取样设备
▪汽车成型高寿命点焊电极用氧化铝铜系列合金棒材中试技术
▪磨粉机用的喂料装置
▪可在氩气手套箱中使用的高能离心球磨机
▪镁合金智能装备工程
▪畜牧养殖用智慧风机温湿度调节装置
▪旋转制动机构、C形臂X射线机及其监控器支架
▪VOCs处理用高效蓄热式催化氧化反应器
▪球磨机加钢球用管道的安装结构
▪淀粉振动筛上的收集装置

报名参会
更多+

2024固态电池前沿技术发展论坛
2024固态电池前沿技术发展论坛
2024年07月12日 ~ 14日
全国有色金属工业电化学第三届学术会议
全国有色金属工业电化学第三届学术会议
2024年07月12日 ~ 14日
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
2024年07月19日 ~ 21日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记