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检测半导体器件热载流子效应的方法

788   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:01
一种检测半导体器件热载流子效应的方法,包括:选取退化表征量;在各个电应力条件下,在至少两个测量段内测量所述退化表征量,其中在各测量段内至少获得三个测量值;根据所述退化表征量的测量值,获得斜率随所述退化表征量变化的关系,其中所述斜率表示所述退化表征量随时间变化的关系;选取估算段内的各个估算时间点;根据所获得的斜率随所述退化表征量变化的关系,获得各个估算时间点的退化表征量的估算值;在失效标准两端至少各选取一个估算值,求得失效标准对应的时间。根据所述方法估算器件寿命的检测结果更精确。
声明：
“检测半导体器件热载流子效应的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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