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衬底位错的检测方法

1080   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:01
本发明提供了一种衬底位错的检测方法，包括以下步骤：A、利用电学失效分析定位的方法对可能存在位错的器件进行失效定位；B、利用聚焦离子束，从其正面进行切抛，边切边看，定位到失效的存储单元，对其源漏区衬底进行排查，发现位错缺陷，立即停止切抛；C、在正面抛光结束后，进行背面的抛光，在确认背面已被低速流离子束抛光干净后停止切抛，制得透射电镜样品；D、在透射电镜中进行观察，拍下透射电镜照片，获取位错长度、深度、所在位置等有关位错信息。本发明带来的有益效果是：通过增加透射电镜样品制备的厚度，保留了完整的位错信息；本发明方法得到精确的密度、长度、深度等位错信息；步骤少，速度快，效率非常高。
声明：
“衬底位错的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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