本发明涉及一种金属材料内氧化层深度的检测方法,包括以下步骤:在待测量样品上切出截面;对所述截面进行离子研磨处理;观察经过所述离子研磨处理的所述截面,并测量内氧化层的深度。上述金属材料内氧化层深度的检测方法,在待测量样品上切出截面,再对所述截面进行离子研磨处理,由于氧化层与非氧化层存在力学性能的差异,经过离子研磨处理后,内氧化层和非氧化层会形成高度差,使得内氧化层和非氧化层之间的界线显露出来,从而能够较为直观准确地检测金属材料的内氧化深度。上述检测方法在内氧化合金材料的工艺研究、质量评估、可靠性评估和失效分析等方面具有较大的应用前景。
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