本发明公开一种利用EMMI检测
芯片静态漏电的辅助电路的设计方法,包括步骤:①对待测集成电路芯片,根据电路功能,划分成N个单元模块;②根据单元模块的多少,设置数量与之相同的PN结二极管,即N个二极管;③对各个单元模块分别设置模块电流复制和放大电路,使每个模块电流复制和放大电路分别与和其相对应的单元模块和二极管相连。本发明将不易被EMMI检测出的故障类型,转换为易被EMMI检测出的PN结空穴电子复合电流的变化,只要失效样本的失效类型可以导致电流的变化,都可以被EMMI检测出来,同时,等效地增加了使用EMMI进行故障分析时的检测灵敏度。
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