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层叠MIM电容检测结构及其检测方法

864   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:59
本发明提供一种层叠MIM电容检测结构，所述层叠MIM电容检测结构包括第一电极及第二电极，所述层叠MIM电容检测结构包括：第一MIM电容单元、第二MIM电容单元及二极管；所述第一MIM电容单元及所述第二MIM单元二者中任一者与所述二极管串联以形成串联结构，另一者与所述串联结构并联以形成并联结构；所述并联结构连接于所述第一电极与所述第二电极之间。通过在所述第一MIM电容单元或所述第二MIM电容单元上串联所述二极管，可以简便快捷地检测出失效的MIM电容单元，大大节省了检测时间，进而提高了检测效率。
声明：
“层叠MIM电容检测结构及其检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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