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验证检测设备检测结果是否正确的方法

605   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:59
本发明公开了一种验证检测设备检测结果是否正确的方法,涉及半导体的检测工艺。该方法包括:提供具有工作区域和虚设区域的芯片,由数条位线和字线组成,虚设区域不参与工作区域的电路工作,虚设区域的位线或字线连接有熔丝,且与工作区域的预设位线或字线电路连接;打断熔丝,工作区域的预设位线或字线失效,连接熔丝的虚设区域的位线或字线代替工作区域的预设位线或预设字线,得到失效的实际物理地址;使用检测设备检测芯片,输出检测物理地址;比较实际物理地址和检测物理地址是否一致可检测出该检测设备是否正常。相较现有技术,熔丝比较大,方便使用聚焦离子束或激光进行打断。在虚设区域加熔丝电路设计,不需要增加芯片的整体面积。
声明：
“验证检测设备检测结果是否正确的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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失效分析
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