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检测海水盐度传感器芯片制造方法

829   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:59
本发明公开了一种检测海水盐度传感器芯片制造方法。涉及到蓝宝石基片上制作铑电极用于检测海水盐度的制造方法。本发明解决了提高了海水盐度检测的稳定性，采用冗余设计方法，在1个蓝宝石基片上制造冗余的3对检测电极，若其中一个对电极失效，则可通过表决系统识别，另外2个对电极可继续工作，有效提高海水盐度芯片的使用寿命和可靠性。用本发明方法制造出的传感器芯片可以实现海水盐度可靠检测，结构紧凑，冗余设计，工作模式多样；同时，降低了传统电极易产生电极极化而带来的性能漂移问题，有助于保证配接二次仪表的精度，适用于海洋工程、海洋开发等应用领域。
声明：
“检测海水盐度传感器芯片制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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