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基于特征函数的片上金属互连线网电迁移可靠性分析方法

727   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:58
本发明公开一种基于特征函数的片上金属互连线网电迁移可靠性分析方法，该算法通过将芯片中互连线网划分为同层金属组成互连树，提取互连树上的参数，将互连树作为电迁移分析的基本单元，并使用Korhonen方程对互连树上的电迁移进行模型。采用基于特征函数的方法对互连树上的Korhonen方程进行准确、高效地求解。在求解得到瞬态应力的基础上，采用二分法求解电迁移失效时间。 1
声明：
“基于特征函数的片上金属互连线网电迁移可靠性分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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失效分析
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