本发明提供一种无尘车间内空气分析方法及系统,在所述无尘车间内设置多个采样点;在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样;对所采样空气样本进行元素分析;对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控,对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理;本发明保证产线内空气中SO4情况被管理,以预防因其超管理线而导致的产品信赖性失效。
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