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避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置

1076   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:39
一种避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置，用于确保热氧化生长过程中二氯乙烯通过N2的携带方式正常通入所述氧化炉管内，对于每个含有二氯乙烯的工艺制程，采集其二氯乙烯重量减少的数据，如所述二氯乙烯重量减少的数据在正常值范围内，则说明每次都有足够量的二氯乙烯通进所述氧化炉管内。本发明通过直接监测DCE的重量是否减少来确保DCE送入氧化炉管内，消除了传统技术中通过监测N2的流量而间接地监测DCE是否送入氧化炉管所隐藏的不确定因素，保证了DCE能够有效去除SiO2生长过程的杂质离子，确保了SiO2的薄膜质量。
声明：
“避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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