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功率器件失效点定位方法

698   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:38
本发明公开了一种功率器件失效点定位方法，包含：步骤一，利用药液去除样品正面的金属铝层；步骤二，对除需要测试的芯片以外的区域进行全面的保护；步骤三，使用镀金机镀金，使样品表面形成一层较均匀的金属层；步骤四，在镀金区域选一平整的位置，使用FIB机台形成一个铂触点；步骤五，对失效芯片背面加压，正面垫的触点接地，进行测试以及失效点的定位。
声明：
“功率器件失效点定位方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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