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晶圆低可靠性失效管芯的标注方法和装置

1076   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:38
本发明实施例提供了一种低可靠性失效管芯的标注方法和装置，该方法包括：根据第一晶圆图获取若干第一管芯；第一管芯通过预先进行的第一低可靠性失效标注被认定为低可靠性失效，第一低可靠性失效标注基于晶圆功能测试的结果进行；对若干第一管芯进行可靠性测试，获得可靠性测试结果；根据可靠性测试结果和所述晶圆功能测试的结果，确定第二低可靠性失效标注依据的第一数值边界。
声明：
“晶圆低可靠性失效管芯的标注方法和装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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