合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 接触孔失效评估方法

接触孔失效评估方法

853   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:38
本发明提供了接触孔失效评估方法,包括:提供评估晶圆,在所述评估晶圆上形成评估器件图形,所述评估器件图形包括第一器件区以及第二器件区;其中,第二器件区与PMOS晶体管的结构以及尺寸相同;第一器件区与NMOS晶体管相比,区别在于对应NMOS晶体管的P阱具有不同的掺杂类型,使得在进行电子束扫描时,第一器件区中N型掺杂的有源区的导电能力强于NMOS晶体管的源/漏极;在所述评估晶圆上进行与产品晶圆相同的接触孔形成工艺;采用电子束扫描评估晶圆的表面,并获取晶圆表面各处的扫描亮度;本发明在电子束扫描接触孔时,形成较亮光斑,从而易于与周围区域区分开,有效避免了机台对失效接触孔的漏检或错检。
声明：
“接触孔失效评估方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：用于SINS/DVL组合导航系统的DVL失效处理方法
下一个：用于绳网拖曳带帆板失效航天器的稳定控制方法

与 “接触孔失效评估方法” 相关技术

▪ 移动式混汞提金设备固液分离装置
▪ 石墨选矿用烘干装置
▪ 保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪ 电加热回转烘干装置
▪ 环保工程污水处理超滤膜技术
▪ 强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪ 利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪ 钽铌冶炼废水的处理方法
▪ 利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪ 镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

相关失效分析设备推荐

Mini快速取土钻套件 土壤采样器
土壤湿度监测站 土壤监测仪
便携式土壤通量测量系统
土壤墒情监测站厂家 土壤监测仪
便携式带存储高精度二氧化碳红外检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪移动式混汞提金设备固液分离装置
▪石墨选矿用烘干装置
▪保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪电加热回转烘干装置
▪环保工程污水处理超滤膜技术
▪强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪钽铌冶炼废水的处理方法
▪利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

报名参会
更多+

2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:124
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:99
4 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
5 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 制样室装修设计技巧
下载:84
10 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记