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在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜及使用方法

932   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:38
本发明公开了一种在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜及使用方法，该薄膜是由绝缘材料制成的具有透明性质的薄膜，其中，该薄膜上标示有坐标系，该坐标系与晶圆上的测试坐标系对应。该薄膜的使用方法，包括步骤：1)根据晶圆上测试出的失效晶粒坐标，在薄膜上的相应坐标处标注记号；2)利用薄膜上存在的坐标系和对准标记，与晶圆对准后，将薄膜贴在晶圆上；3)揭去薄膜后，薄膜上的相应坐标处的记号就转移到了晶圆上。利用本发明可以准确、省时地在晶圆上找到失效晶粒，给选取失效晶粒工作带来极大便利。
声明：
“在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜及使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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