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功率MOS失效位置的判定方法

1021   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:37
本发明公开了一种功率MOS失效位置的判定方法，包含：步骤1，去除样品芯片表面钝化层，暴露出金属；步骤2，采用亮点定位工具定位出亮点；步骤3，采用激光成像技术，记录下亮点及其周围的晶粒的形貌；步骤4，在亮点附近做出标记位置；步骤5，在聚焦离子束机台下找到标记位置，并找到亮点对应的晶粒交界，进行切片分析，从而找到失效位置。
声明：
“功率MOS失效位置的判定方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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