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失效图形的获取方法和获取装置

983   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:36
一种失效图形的获取方法和获取装置，其中失效图形的获取方法，包括：包括：获得一晶圆内的芯片测试结果图像，所述芯片测试结果图像中标记有若干失效测试点；计算所有失效测试点间每两点的向量；将具有相同向量的若干失效测试点定为同一群体；从每一个群体中分出若干种待定失效图形；基于所述若干种待定失效图形获得失效图形。通过前述步骤可以准确和快速的获得失效图形，所述失效图形用于判断测试机台是否存在问题，如果获得了失效图形，则可判断所述测试机台的测试环境存在问题，从而测试人员可以对测试机台的测试环境(比如对测试程序进行修改)进行调整，从而防止测试机台误检测的发生，提高电学测试的准确性。
声明：
“失效图形的获取方法和获取装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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